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真空燒結爐使用中的應急處理方法及如何使用

時間:2023-02-23 點擊:324次

  真空燒結爐,真空碳管爐,真空電阻爐,真空熱壓爐,真空鎢絲爐真空鉬絲爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結。是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個工藝流程。
 
  真空燒結爐的緊急情況應急處理辦法
 
  ● 冷卻水異常:
 
  1、確認加熱電源已停止。
 
  2、爐外發生漏水,冷卻水量異常時,應盡快采取應急措施,如能保證水量,請繼續保持真空,如不能采取應急措施,保持原狀,確認設備冷卻下來。
 
  3、冷卻水發生異常時,設備處于停止狀態,馬上接通緊急用冷卻水。
 
  4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
 
  壓縮空氣的停止:
 
  1、壓縮空氣異常***時,設備處于停止狀態,應盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復工作。
 
  2、真空中如壓縮空氣異常***,且恢復需要較長時間時,則終止真空,讓設備停下來。
 
  ● 突然停電:
 
  1、停電時,如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。
 
  2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,繼續運轉如需要較長時間,則將設備保持原狀。
 
  3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設備自然冷卻下來。
 
  ● 加熱電源掉電:
 
  1、水壓低,當水壓低于0.15MPa,壓力表***。
 
  2、接地故障。
 
  3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。
 
  4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障,掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。
 
  充氣氣體(氬氣或氮氣)停止:
 
  1、抽真空開始前,氣體充入時間長或者無法充入時,請確認氣體管路是否被堵塞。
 
  2、如氣體管路沒問題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作,為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。
 
  3、向真空室內充氣不能停止的情況下,泄壓閥動作如泄壓閥動作時,要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。
 
  4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會影響制品質量。
 

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